기가레인(대표 김정곤 구황섭)은 지난해 말 12인치 TSV 식각장비 ‘딥 실리콘 에치’를 개발한 데 이어 8인치용 장비를 시장에 보급한다. 지난 1년간 대기업과 공동 개발해 양산 인증(퀄리피케이션)을 통과했다. 회사는 12인치에 이어 8인치 장비도 국내외 시장에 공급한다는 목표다.

TSV 식각 장비는 어플라이드머티어리얼즈, 도쿄일렉트론, 램리서치, 에이멕 등 외산 장비기업이 장악한 시장이다. 국내 기업이 모듈별로 일부 국산화한 사례는 있으나 8인치와 12인치를 자체 기술로 상용화한 것은 기가레인이 처음이다.

기가레인은 8인치 양산 장비가 대기업 양산인증을 통과함에 따라 국내 대학과 연구소를 중심으로 보급을 확대할 계획이다.

김 부사장은 “세계적으로 8인치 장비 시장이 계속 유지·성장하고 있고 TSV 식각장비는 중고가 없어 기존 8인치 팹에서 수요가 발생할 것으로 본다”며 “국내뿐만 아니라 해외 영업에도 속도를 낼 것”이라고 말했다.